半导体制造行业的气体安全管理

发布时间:2022-03-29

半导体工业发展速度惊人,在生产过程中所需要的气体使用量不断加大、气体品类更加多样化且纯度要求更高。其中不乏一些会对人体产生危害的有毒有害气体,这就需要在使用有毒有害气体的工业场所,安装高敏度有毒有害气体检测仪,保障工作人员的人身安全。

在半导体工业生产过程中,可能会使用到多种有毒有害气体,砷化氢AsH3、乙硼烷B2H6、磷化氢PH3、硅烷SiH4、溴Br2、氟F2、氰化氢HCN、氟化氢HF等有毒有害气体,一旦发生泄漏,就会对身体产生极大的伤害。例如乙硼烷B2H6,吸入会对肺产生刺激,引起肺水肿,伤肝,伤肾;引发咳嗽、气短、胸痛、恶心呕吐等症状。

显示型气体检测仪Xgard Bright

Xgard显示型气体检测仪为保护作业人员远离复杂工况中潜在的人身伤害而特别设计。能检测出有毒气体、可燃气体以及缺氧带来的危险,提醒作业人员立即采取应对措施,可满足工作现场的不同检测需要。探头传感器使用寿命:Xgard毒气:2-5年。

产品特性:

■ 明亮的OLED显示,满足低温环境应用

■ 多种传感器配置,可检测百种气体(含VOCs)

■ 非侵入式磁棒校准,现场无需开盖

■ MODBUS、HART(可选)

多参数气体检测仪—AMG-300

AMG-300 多参数气体检测仪,应用于现场气体连续在线监测,配置MOS、电化学、红外、催化燃烧和PID等不同类型传感器模块,可满足4 种气体同时监测,用于监测氨气、硫化氢、一氧化碳、氧气和甲烷等气体。

产品特性:

■ 参数配置灵活,适用于MOS、电化学、红外、催化燃烧和PID 测量原理
■ 采样方式灵活,泵吸式和扩散式可选配
■ 触屏显示操作,实时、历史数据查看,GUI 界面操作
■ 标定校准方便,配置标定帽,实现快速标定
■ 传输方式多样, Modbus 485、WIFI、4G、4-20mA 和以太网可选
■ 行业应用广泛,地下管网、污水处理、垃圾中转站、生产车间和智慧工厂等